AMAT 0200-10176

产品名称晶圆承载基座隔热环组件产品简介该组件安装在晶圆承载台与加热模块之间，用于隔离温度场、减少热量损耗、稳定晶圆表面温度分布，提升工艺均匀性与温控精度。技术规...