AMAT 0040-38738

产品名称腔体内部气体喷淋分配板产品简介该部件安装于工艺腔体内部，用于将工艺气体均匀分配至晶圆表面，优化气流分布，提升刻蚀、沉积等工艺的片内与片间均匀性。技术规格...