AMAT 0040-44797-011

产品名称腔体内部气体喷淋头组件产品简介该组件是半导体工艺腔体的核心进气部件，安装于腔体顶部，通过精密微孔阵列将工艺气体均匀分布至晶圆表面，是保障刻蚀、沉积等工艺...