AMAT 0041-28291

产品名称晶圆承载台电极组件产品简介该组件是晶圆静电吸盘（ESC）的核心电极部件，用于产生静电吸附力，实现晶圆的稳定固定与精准定位，同时兼具温度传导功能，保障晶圆...