产品名称晶圆承载台电极组件产品简介该组件是晶圆静电吸盘（ESC）的核心电极部件，用于产生静电吸附力，实现晶圆的稳定固定与精准定位，同时兼具温度传导功能，保障晶圆工艺温度均匀。技术规格
- 材质：高纯度铝合金 / 陶瓷复合电极基材
- 电极结构：嵌入式双极电极设计，吸附力均匀
- 绝缘层：高耐压、低损耗陶瓷绝缘层
- 平整度：晶圆接触面亚微米级平面度
- 耐温范围：-50℃～450℃连续稳定工作
- 电气性能：低漏电、高绝缘电阻，适配高压静电驱动功能特点
- 静电吸附力稳定均匀，晶圆固定牢固，无位移、无划伤
- 温度传导均匀，配合加热 / 冷却模块实现精准温控
- 高绝缘性能，杜绝高压漏电、打火风险
- 表面光滑洁净，不产生颗粒，不污染晶圆
- 结构稳定，长期高温使用不变形、不翘曲
- 与静电驱动电源完美匹配，响应迅速应用场景
- 晶圆静电吸盘（ESC）核心电极组件
- 刻蚀、沉积、退火设备晶圆支撑单元
- 高精度温控工艺腔体
- 先进半导体制程、微纳加工设备
- 适配 200mm/300mm 晶圆生产线
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 