产品名称真空系统压力传感器组件产品简介该组件用于半导体真空腔体与管路系统的压力实时监测，提供高精度、稳定可靠的压力信号输出，是真空工艺控制与安全保障的核心传感部件。技术规格
- 测量类型：电容式 / 压电式高精度真空测量
- 测量范围：覆盖高真空至中压区间（10⁻⁹ Torr～10³ Torr）
- 精度等级：测量误差≤±0.1% FS
- 输出信号：标准模拟量（4-20mA/0-10V）/ 数字量信号
- 材质：316L 不锈钢传感腔体，抗腐蚀
- 防护等级：IP65，适配真空与洁净环境功能特点
- 测量精度高，长期稳定性优异，无漂移
- 响应速度快，实时捕捉压力变化
- 抗干扰能力强，信号输出稳定可靠
- 抗化学腐蚀，兼容多种工艺气体环境
- 结构紧凑，安装便捷，适配狭小空间
- 具备自诊断功能，便于故障排查应用场景
- 半导体真空腔体、真空管路压力监测
- 刻蚀、沉积、清洗、离子注入设备真空系统
- 真空泵组、气体传输系统压力控制
- 半导体生产线自动化真空监控系统
- 高真空、高洁净工艺环境
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 