产品名称设备运动控制伺服驱动模块产品简介该模块是半导体设备运动控制系统的核心驱动单元，用于驱动伺服电机，实现晶圆传输、腔体升降、旋转等运动的精准控制，保障设备运动定位精度与重复精度。技术规格
- 驱动类型：数字式伺服驱动，闭环控制
- 适配电机：高精度伺服电机 / 步进电机
- 控制方式：位置 / 速度 / 力矩三环控制
- 通信接口：标准工业总线（EtherCAT/Profinet）
- 输出功率：适配中低功率运动机构
- 保护功能：过压、过流、过载、过热、欠压保护功能特点
- 运动控制精度高，定位误差达微米级
- 响应速度快，动态性能优异，适配高速运动
- 闭环控制，抗干扰能力强，运行稳定
- 多重保护机制，保障电机与设备安全
- 体积小巧，集成度高，节省安装空间
- 支持参数自整定，调试便捷应用场景
- 晶圆传输机械手驱动控制
- 腔体升降、旋转、平移机构驱动
- 高精度运动平台、定位系统控制
- 半导体设备自动化运动控制系统
- 适配 Endura、Centura 等主流设备平台
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 