AMAT 0130-03170

产品名称设备运动控制伺服驱动模块产品简介该模块是半导体设备运动控制系统的核心驱动单元，用于驱动伺服电机，实现晶圆传输、腔体升降、旋转等运动的精准控制，保障设备运...