AMAT 0200-00374

产品名称腔体内部隔热屏蔽环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台外围，用于隔离工艺腔体内部高温区域与外部结构，减少热量损耗，均匀化腔体温度场，同时阻挡等离子体与反应...