AMAT 0021-09098

产品名称腔体内部运动轴密封组件产品简介该组件用于半导体设备腔体内部运动轴（如升降轴、旋转轴）的真空密封，在保证轴灵活运动的同时，维持腔体真空环境，防止气体泄漏与...