产品名称腔体内部运动轴密封组件产品简介该组件用于半导体设备腔体内部运动轴（如升降轴、旋转轴）的真空密封，在保证轴灵活运动的同时，维持腔体真空环境，防止气体泄漏与外部污染进入。技术规格
- 密封材质：高纯度氟橡胶 / 金属波纹管复合密封
- 适配轴径：标准运动轴直径规格
- 真空性能：满足 UHV 超高真空要求，低释气率
- 运动形式：适配往复运动 / 旋转运动
- 耐温范围：-40℃～250℃
- 耐磨性能：低摩擦、长寿命密封结构功能特点
- 超高真空密封性能，确保腔体长期无泄漏
- 运动阻力小，不影响轴的运动精度与速度
- 耐磨、抗疲劳，可承受高频往复 / 旋转运动
- 抗化学腐蚀，耐受工艺气体与清洗介质侵蚀
- 结构紧凑，适配狭小腔体内部空间
- 安装便捷，更换维护简单应用场景
- 半导体腔体升降轴、旋转轴真空密封
- 晶圆承载台升降、旋转机构密封
- 刻蚀、沉积、清洗设备内部运动轴密封
- 高真空、高洁净工艺腔体运动部件
- 适配 200mm/300mm 晶圆设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 