产品名称设备状态数据采集模块产品简介该模块用于实时采集半导体设备的温度、压力、流量、功率、转速等关键运行参数，完成信号调理、模数转换与数据上传，实现设备状态监控、工艺追溯与故障预警。技术规格
- 采集类型：多通道模拟量 / 数字量混合采集
- 精度等级：高精度采集，误差≤±0.1% FS
- 采样速率：高速连续采样，满足实时监控需求
- 通信接口：标准工业以太网 / RS485 通信协议
- 隔离设计：通道间电气隔离，避免交叉干扰
- 工作电压：24V 直流工业标准电压功能特点
- 多参数同步采集，数据全面、实时
- 采集精度高，数据可靠，无失真
- 支持数据本地存储与远程上传，便于工艺追溯
- 通道隔离，抗干扰能力强，适应复杂电磁环境
- 集成度高，体积小巧，便于设备集成
- 支持故障诊断与报警输出，保障设备安全应用场景
- 半导体设备工艺参数实时监控
- 真空、温度、流量、压力、功率等参数采集
- 设备健康管理与预防性维护系统
- 半导体生产线自动化数据采集与监控系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 