产品名称气体管路精密调压阀组件产品简介该组件用于半导体工艺气路系统的压力稳定调节，实现工艺气体压力的精准控制，保障气体流量稳定，是气路系统稳定运行的核心控制部件。技术规格
- 阀体材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 调节范围：高精度压力调节区间
- 控制精度：压力调节误差≤±0.5%
- 密封形式：金属面密封，无泄漏
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 接口规格：标准 VCR 半导体气路接口功能特点
- 压力调节精准、稳定，无脉动、无波动
- 密封可靠，长期使用无泄漏、无渗透
- 抗化学腐蚀，兼容多种危险与腐蚀性工艺气体
- 响应速度快，快速稳定压力变化
- 结构坚固，适应高频调节与长期工作
- 安装灵活，适配多种气路布局应用场景
- 半导体工艺气体输送、分配系统
- 刻蚀、CVD、ALD、清洗等工艺气路压力控制
- 气体质量流量控制器（MFC）前端稳压
- 高纯气体管道、特种气体输送系统
- 先进半导体制程设备气路系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0010-09301 