产品名称射频传输线路阻抗匹配组件产品简介该组件是射频电源与等离子体负载之间的阻抗匹配关键部件，用于调节射频传输线路阻抗，降低驻波比，提升射频功率传输效率，稳定等离子体状态。技术规格
- 适用频率：13.56MHz 标准射频频段
- 功率范围：中高功率射频系统
- 阻抗调节范围：覆盖典型等离子体负载阻抗区间
- 绝缘性能：高耐压陶瓷绝缘结构，防打火击穿
- 接口形式：标准射频同轴接口，低驻波比
- 散热结构：高效传导散热，耐受长时间连续工作功能特点
- 快速实现阻抗匹配，提升射频能量利用率
- 降低驻波比，减少射频反射损耗，保护射频电源
- 稳定等离子体状态，减少熄火、异常放电
- 高绝缘、高可靠性，降低打火、击穿风险
- 结构紧凑，适配标准射频传输线路
- 长期使用参数漂移小，工艺一致性高应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD、PVD 设备射频系统
- 半导体晶圆处理工艺腔体
- 射频电源与负载匹配单元
- 先进制程半导体制造设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 