AMAT 0020-48255

产品名称腔体底部防护屏蔽组件产品简介该组件安装于工艺腔体底部，用于防护底部电极、真空管路与排气系统，阻挡等离子体与反应物溅射污染，同时均匀化底部气流，保障工艺稳...