AMAT 0010-70415

产品名称腔体内部限位与安全检测组件产品简介该组件用于腔体内部运动机构的位置限位、到位检测与安全互锁，防止机械超程碰撞，保障晶圆传输、升降、旋转动作在安全范围内运...