产品名称腔体内部限位与安全检测组件产品简介该组件用于腔体内部运动机构的位置限位、到位检测与安全互锁，防止机械超程碰撞，保障晶圆传输、升降、旋转动作在安全范围内运行，提升设备可靠性。技术规格
- 检测方式：非接触式感应检测
- 响应速度：微秒级快速响应
- 输出信号：数字开关量信号
- 防护等级：真空与洁净室兼容
- 工作温度：-20℃～150℃
- 安装方式：腔体内部嵌入式固定功能特点
- 非接触无磨损，寿命超长
- 定位精准，避免机械碰撞
- 信号稳定，抗干扰能力强
- 真空环境下可靠工作，无释气
- 体积小巧，适配狭小腔体空间
- 支持安全回路互锁应用场景
- 晶圆升降台、旋转台限位
- 腔体门、挡板位置检测
- 机械手安全限位保护
- 真空设备运动安全控制系统
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 