产品名称腔体顶部电极屏蔽组件产品简介该组件安装于腔体顶部电极外围，用于屏蔽射频电场、均匀等离子体分布、阻挡反应物溅射污染电极，同时保护电极结构，提升工艺均匀性与部件寿命。技术规格
- 材质：高纯度阳极氧化铝 / 陶瓷复合材料
- 表面处理：抗等离子体腐蚀涂层
- 结构形式：一体化环形屏蔽
- 尺寸精度：与顶部电极精准配合
- 耐温范围：-20℃～300℃
- 洁净等级：高洁净、低粉尘功能特点
- 均匀电场分布，提升等离子体稳定性
- 有效屏蔽杂散射频，减少打火风险
- 阻挡溅射污染，保护顶部电极
- 耐等离子体腐蚀，使用寿命长
- 安装定位精准，拆装便捷
- 不影响气体流动与工艺均匀性应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 腔体顶部屏蔽
- 射频电极防护与电场调控
- 200mm/300mm 标准工艺腔体
- 先进制程半导体设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 