产品名称晶圆顶升支撑环组件产品简介该组件用于晶圆承载台顶升机构，在晶圆传输时平稳托起晶圆，保证与机械手交接精准、无划伤、无位移，是晶圆传输系统的关键接触部件。技术规格
- 材质：航空级铝合金 / 陶瓷复合材料
- 表面处理：镜面抛光，防划伤
- 尺寸规格：200mm 晶圆专用
- 平整度：亚微米级平面度
- 支撑结构：多点均匀支撑
- 洁净等级：超高洁净，无颗粒释放功能特点
- 支撑平稳，晶圆无变形、无抖动
- 表面光滑，不划伤晶圆背面
- 定位精准，与机械手配合顺畅
- 高洁净材质，不污染晶圆
- 结构坚固，高频动作不变形
- 安装便捷，维护简单应用场景
- 刻蚀、沉积、热处理设备晶圆顶升
- 200mm 晶圆传输交接单元
- P5000、Centura 等设备平台
- 自动化晶圆处理系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 