AMAT 0020-06203

产品名称腔体顶部电极屏蔽组件产品简介该组件安装于腔体顶部电极外围，用于屏蔽射频电场、均匀等离子体分布、阻挡反应物溅射污染电极，同时保护电极结构，提升工艺均匀性与...