AMAT 0020-34731

产品名称腔体排气导流盖板组件产品简介该组件安装于腔体排气口上方，用于均匀引导腔体内部气流、稳定排气速率、过滤反应副产物颗粒、保护真空泵与排气管路，同时优化腔体流...