AMAT 0020-34831

产品名称腔体底部排气导流屏蔽组件产品简介该组件安装于半导体工艺腔体底部排气口上方，用于均匀引导腔体内部气流、稳定排气速率、过滤反应副产物颗粒，同时保护真空泵与排...