AMAT 0041-35140

产品名称晶圆承载台温度传感器组件产品简介该组件是晶圆静电吸盘（ESC）的核心温度监测部件，用于实时精准测量晶圆承载台表面温度，为工艺温控系统提供反馈信号，保障晶...