产品名称晶圆承载台温度传感器组件产品简介该组件是晶圆静电吸盘（ESC）的核心温度监测部件，用于实时精准测量晶圆承载台表面温度，为工艺温控系统提供反馈信号，保障晶圆工艺温度均匀与稳定。技术规格
- 传感器类型：高精度铂电阻（PT1000）/ 热电偶复合传感
- 测量范围：-50℃～450℃
- 测量精度：≤±0.1℃
- 响应时间：毫秒级快速响应
- 安装方式：嵌入式安装于承载台内部
- 绝缘性能：高绝缘，适配高压静电环境
- 防护等级：真空与洁净室兼容功能特点
- 温度测量精准稳定，长期无漂移
- 响应速度快，实时捕捉温度变化
- 高绝缘性能，杜绝静电干扰与漏电风险
- 真空环境下可靠工作，无释气、无污染
- 结构紧凑，适配狭小安装空间
- 与温控系统完美匹配，支持闭环控制应用场景
- 晶圆静电吸盘（ESC）温度监测
- 刻蚀、沉积、退火设备承载台温控
- 高精度半导体工艺温度控制单元
- 200mm/300mm 晶圆生产线温控系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 