产品名称设备主控 VME 总线 CPU 模块产品简介该模块是半导体设备控制系统的核心运算单元，基于 VME 总线架构，负责设备整体逻辑控制、运动控制、工艺参数管理与数据处理，保障设备自动化运行与工艺稳定。技术规格
- 架构：VME 总线标准工业级 CPU 模块
- 处理器：高性能嵌入式处理器
- 内存：大容量高速缓存与运行内存
- 通信接口：VME 总线、以太网、RS485 等多接口
- 操作系统：实时嵌入式操作系统
- 工作温度：工业级宽温范围（-10℃～60℃）
- 防护等级：工业级抗干扰、防尘设计功能特点
- 运算能力强，支持复杂工艺逻辑与多任务处理
- 实时性高，保障设备运动与工艺控制精准同步
- 多通信接口，兼容各类控制模块与上位机系统
- 工业级稳定性，长期连续运行无故障
- 支持远程监控、程序下载与故障诊断
- 模块化设计，便于维护与升级应用场景
- 半导体设备主控系统核心运算单元
- 刻蚀、沉积、清洗设备自动化控制
- VME 总线架构工业控制系统
- 先进半导体制程设备主控平台
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 