AMAT 0200-09317

产品名称腔体内部气体喷淋头组件产品简介该组件安装于半导体工艺腔体顶部，用于均匀分布工艺气体，实现气体在晶圆表面的均匀扩散，提升工艺均匀性与膜层质量，是沉积、刻蚀...