AMAT 0020-25826

产品名称晶圆承载台边缘聚焦环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台边缘，用于聚焦等离子体、均匀化晶圆边缘工艺环境、提升边缘工艺均匀性，同时防护承载台边缘免受等离子体...