AMAT 0020-76429

产品名称晶圆承载台隔热基座组件产品简介该组件安装于晶圆承载台与加热冷却模块之间，用于隔离温度场、减少热量损耗、稳定晶圆表面温度分布，是高精度温控工艺的核心隔热部...