AMAT 0200-03313

产品名称腔体顶部电极隔热屏蔽组件产品简介该组件安装于腔体顶部电极上方，用于隔绝热量、屏蔽电场、保护顶部结构与进气部件，同时稳定等离子体分布，提升工艺均匀性。技术...