产品名称腔体顶部电极隔热屏蔽组件产品简介该组件安装于腔体顶部电极上方，用于隔绝热量、屏蔽电场、保护顶部结构与进气部件，同时稳定等离子体分布，提升工艺均匀性。技术规格
- 材质：高温隔热复合材料与高纯金属复合结构
- 耐温性能：可长期耐受 350℃高温
- 结构形式：多层隔热与屏蔽一体化结构
- 表面处理：抗等离子体腐蚀处理
- 尺寸适配：标准 200mm/300mm 工艺腔体
- 真空性能：低释气、高洁净功能特点
- 高效隔热，保护顶部电极与驱动结构
- 均匀电场分布，提升等离子体稳定性
- 抗热震性能优异，适应快速升降温循环
- 耐等离子体腐蚀，不易产生颗粒与粉尘
- 安装牢固，不易松动、脱落
- 拆装便捷，便于维护与清洁应用场景
- 等离子体增强化学气相沉积设备
- 物理气相沉积、刻蚀设备顶部电极隔热
- 高温真空工艺腔体
- 半导体晶圆薄膜生长与处理设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 