产品名称真空系统压力监测传感器组件产品简介该组件用于半导体真空腔体与管路系统的压力实时监测，提供高精度、高稳定性的压力信号，为真空工艺控制与安全联锁提供核心数据支撑。技术规格
- 测量原理：高精度电容式真空测量
- 测量范围：覆盖低真空至高真空区间
- 精度等级：测量误差≤±0.1% FS
- 输出信号：4–20mA / 0–10V 标准模拟信号
- 腔体材质：316L 不锈钢，抗腐蚀
- 防护等级：适用于真空与洁净室环境功能特点
- 测量精度高，长期使用无漂移
- 响应速度快，实时捕捉压力变化
- 抗干扰能力强，信号输出稳定可靠
- 耐腐蚀，兼容工艺气体与等离子体环境
- 结构紧凑，安装便捷
- 支持设备安全联锁与报警功能应用场景
- 半导体真空腔体压力监控
- 真空泵组与真空管路压力监测
- 刻蚀、沉积、清洗、离子注入设备真空系统
- 高真空、超高真空工艺环境
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 