产品名称射频匹配网络内部电容调节组件产品简介该组件是射频匹配网络内部核心可调部件，用于动态调节阻抗参数，实现射频电源与等离子体负载之间的最佳匹配，保证射频能量高效传输。技术规格
- 类型：真空可变电容 / 精密可调电容
- 适用频率：13.56MHz 标准射频频段
- 耐压等级：高耐压，防击穿、防打火
- 调节方式：精密电机驱动调节
- 介质材质：高纯度陶瓷介质
- 工作环境：真空与高电场环境功能特点
- 电容调节精度高，阻抗匹配精准
- 高耐压设计，杜绝射频击穿与打火现象
- 损耗低，发热小，能量传输效率高
- 调节平滑，无卡顿、无跳变
- 结构稳定，长期使用参数不漂移
- 适配各类射频匹配器内部结构应用场景
- 射频等离子体刻蚀设备匹配网络
- PECVD、PVD 设备射频匹配单元
- 半导体工艺腔体射频系统
- 13.56MHz 射频电源匹配装置
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 