产品名称射频电源信号采集与反馈模块产品简介该模块用于实时采集射频系统的 forward 功率、reflected 功率、电压、电流等关键参数，为匹配网络与控制系统提供实时反馈，实现闭环自动控制。技术规格
- 采集参数：正向功率、反射功率、阻抗、电压
- 频率范围：13.56MHz 标准频段
- 采样精度：高精度实时采样
- 输出信号：模拟量与数字量同步输出
- 隔离方式：高隔离电压，抗强电磁干扰
- 工作电压：24V 直流供电功能特点
- 实时精准采集射频系统运行参数
- 快速计算反射功率与驻波比
- 高抗干扰能力，在强电磁环境下稳定工作
- 信号输出稳定，无失真、无延迟
- 支持故障诊断与过功率保护
- 模块化设计，易于安装与更换应用场景
- 射频电源与匹配网络控制系统
- 等离子体刻蚀、沉积设备射频单元
- 半导体工艺腔体功率监控系统
- 自动化射频能量控制设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 