产品名称真空管路密封连接接头组件产品简介该组件用于半导体真空系统与高纯气路的管路连接，提供高强度、零泄漏的密封连接，保证真空与气路系统长期稳定运行。技术规格
- 材质：316L 高纯度不锈钢
- 连接形式：金属面密封结构
- 表面处理：内壁电解抛光
- 耐压范围：高真空至中高压气体
- 尺寸规格：标准半导体管路接口
- 适用介质：真空、惰性气体、腐蚀性气体功能特点
- 密封性能卓越，实现零泄漏连接
- 内壁光滑，无气体滞留，易于吹扫
- 耐腐蚀，适应各类工艺气体环境
- 重复拆装性能稳定，不损伤密封面
- 安装简单，定位精准
- 符合半导体高真空与高洁净标准应用场景
- 真空腔体与真空泵管路连接
- 高纯气体输送管路连接
- 质量流量控制器、阀门、过滤器接口
- 刻蚀、沉积、清洗设备气路与真空系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 