产品名称腔体内部排气挡板与导流组件产品简介该组件安装于腔体排气口位置，用于均匀引导气流、过滤反应副产物、保护真空泵、稳定腔体内部压力场，提升工艺重复性与设备可靠性。技术规格
- 材质：高纯度阳极氧化铝 / 碳化硅
- 结构形式：多孔挡板与导流一体化结构
- 孔径分布：均匀微米级孔阵布局
- 表面处理：抗腐蚀、易清洁涂层
- 尺寸适配：标准工艺腔体排气口
- 耐温范围：-20℃～300℃功能特点
- 均匀导流腔体内部气流，稳定排气速率
- 有效拦截颗粒与副产物，保护真空泵
- 降低气流冲击与噪声，优化腔体环境
- 耐等离子体与化学腐蚀，使用寿命长
- 拆装方便，便于定期清洁维护
- 提升工艺均匀性与重复性应用场景
- 等离子体刻蚀、沉积腔体排气系统
- 半导体工艺腔体排气口防护
- 真空排气与尾气处理前端装置
- 200mm/300mm 晶圆制程设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0010-09301 