产品名称射频信号传输电缆组件产品简介用于半导体设备射频系统中射频电源、匹配网络与腔体电极之间的能量传输，保证低损耗、高稳定射频传输，是等离子体工艺的关键射频连接部件。技术规格
- 阻抗：50Ω 标准阻抗
- 频率范围：覆盖 13.56MHz 等常用工艺频段
- 结构：多层屏蔽、低损耗同轴结构
- 接头：标准工业射频密封接头
- 耐压：高耐压，防打火、防击穿
- 工作环境：真空、强电磁干扰环境兼容功能特点
- 信号传输损耗低，能量利用率高
- 多层屏蔽，抗电磁干扰能力强
- 驻波比小，匹配稳定
- 高耐压、耐老化，长期使用可靠
- 弯曲性能好，适合设备内部布线
- 接头连接牢固，不松动、不打火应用场景
- 刻蚀、PECVD、PVD 设备射频系统
- 射频电源与匹配网络连接
- 腔体电极射频能量输入
- 半导体等离子体工艺设备
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 