产品名称气体管路焊接总成组件产品简介用于半导体高纯气路系统的管路集成与密封连接，采用一体化焊接结构，实现气路稳定、无泄漏输送，保障工艺气体纯度与流量稳定。技术规格
- 材质：高纯度 316L 不锈钢
- 表面：内壁电解抛光 (EP)
- 连接：无缝焊接、面密封结构
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 洁净等级：超高洁净、无释气
- 耐压：满足中高压气路标准功能特点
- 一体化焊接，零泄漏风险
- 内壁光滑无死角，不易残留杂质
- 耐腐蚀，兼容各类危险工艺气体
- 结构强度高，抗振动、抗变形
- 安装定位精准，简化管路布局
- 维护周期长，运行稳定可靠应用场景
- 半导体工艺气体输送主干管路
- 气体箱、气体分配系统集成
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气路单元
- 高纯特种气体输送系统
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 