产品名称高纯气体管路精密调压阀组件产品简介该组件用于半导体工艺气路系统的压力精确调节，稳定气体输送压力，保证质量流量控制器前端压力恒定，是气路系统稳定运行的关键控制部件。技术规格
- 阀体材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 调节精度：压力输出误差≤±0.5%
- 密封形式：金属面密封结构
- 适用介质：惰性气体、还原性、氧化性、腐蚀性气体
- 接口规格：标准 VCR 气路接口
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 压力调节精准稳定，输出无脉动、无波动
- 响应速度快，快速平衡压力变化
- 流道内壁电解抛光，无死角、无气体滞留
- 耐腐蚀性能优异，兼容各类危险工艺气体
- 密封可靠，长期使用无泄漏
- 结构紧凑，适合狭小空间安装应用场景
- 半导体工艺气体输送与分配系统
- 气体质量流量控制器前端稳压
- 刻蚀、CVD、ALD、清洗设备气路系统
- 高纯气体管道与特种气体输送工程
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 