AMAT 0020-97794

产品名称腔体内部排气挡板与导流组件产品简介该组件安装于腔体排气口位置，用于均匀引导气流、过滤反应副产物、保护真空泵、稳定腔体内部压力场，提升工艺重复性与设备可靠...