AMAT 3510-00244

产品名称真空系统联锁控制模块产品简介用于真空设备的安全联锁与状态逻辑控制，实时监测真空度、阀门状态、门开关信号，执行安全逻辑，防止误操作，保障腔体与人员安全。技...