产品名称真空系统联锁控制模块产品简介用于真空设备的安全联锁与状态逻辑控制，实时监测真空度、阀门状态、门开关信号，执行安全逻辑，防止误操作，保障腔体与人员安全。技术规格
- 输入：多路干接点 / PNP/NPN 信号
- 输出：继电器 / 晶体管控制信号
- 响应时间：毫秒级快速响应
- 隔离：通道间光电隔离
- 工作电压：24V 直流
- 环境：真空设备现场兼容功能特点
- 多路联锁信号集中管理
- 逻辑可编程，适配不同设备流程
- 高隔离设计，强抗干扰
- 故障状态自锁，提升安全性
- 支持远程监控与状态反馈
- 结构紧凑，安装便捷应用场景
- 真空腔体安全门联锁
- 真空阀门、泵组联动控制
- 半导体设备真空系统安全保护
- 自动化设备安全联锁单元
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 