AMAT 0040-42026

产品名称基座环顶部密封盖板组件产品简介安装于腔体基座环顶部，用于密封、屏蔽与均匀化气流，保护内部结构免受等离子体冲刷与反应物沉积，提升工艺均匀性与部件寿命。技术...