AMAT 0020-05681

产品名称腔体内部屏蔽衬套组件产品简介安装于腔体内部电极与支撑结构之间，起到电气绝缘、电场屏蔽、机械防护作用，减少等离子体异常放电，保护核心部件并提升工艺稳定性。...