产品名称腔体内部屏蔽衬套组件产品简介安装于腔体内部电极与支撑结构之间，起到电气绝缘、电场屏蔽、机械防护作用，减少等离子体异常放电，保护核心部件并提升工艺稳定性。技术规格
- 材质：高纯度陶瓷 / 工程绝缘材料
- 耐压：高直流 / 射频耐压
- 结构：精密衬套结构
- 尺寸：微米级配合公差
- 耐温：-20℃～350℃
- 洁净：超高洁净、低释气功能特点
- 高效绝缘，防止漏电与打火
- 屏蔽杂散电场，稳定等离子体
- 机械强度高，抗冲击、抗振动
- 耐等离子体与化学腐蚀
- 安装精准，不易松动
- 延长电极与腔体寿命应用场景
- 等离子体刻蚀、沉积腔体
- 射频电极绝缘与屏蔽
- 200mm/300mm 工艺腔体
- 半导体前道制程设备
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 