产品名称腔体运动轴密封防护组件产品简介该组件用于半导体真空腔体内部升降轴、旋转轴等运动部件的真空密封与防护，在保证轴件灵活运动的同时，维持腔体超高真空环境，防止外部污染物进入与内部气体泄漏。技术规格
- 材质：高纯度氟橡胶、金属波纹管与工程陶瓷复合结构
- 密封形式：动态真空密封结构
- 适配运动形式：往复直线运动与旋转运动
- 耐温范围：-40℃～280℃
- 真空等级：满足超高真空 UHV 标准
- 耐磨性能：低摩擦、长寿命、抗疲劳功能特点
- 超高真空密封性能，长期使用无泄漏。
- 运动阻力小，不影响轴件定位精度与运动速度。
- 耐磨、抗老化，可承受高频次往复运动。
- 抗化学腐蚀，兼容工艺气体与清洗介质环境。
- 结构紧凑，适合腔体内部狭小空间安装。
- 拆装便捷，维护简单，使用寿命稳定。应用场景
- 半导体工艺腔体升降轴、旋转轴密封
- 晶圆承载台升降、旋转机构密封
- 刻蚀、沉积、清洗设备腔体运动部件密封
- 高真空、高洁净度半导体制程设备
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 