AMAT 0041-97272

产品名称晶圆承载台温控电极组件产品简介该组件集成于晶圆承载台内部，兼具静电吸附与温度调控功能，用于稳定固定晶圆并精确控制其工艺温度，保证制程均匀性与重复性。技术...