AMAT 0020-10764

产品名称腔体内部隔热屏蔽环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台外围，用于隔离高温区域、减少热量损耗、均匀腔体温度场，同时阻挡等离子体与反应物溅射，保护腔体内部部件...