AMAT 0040-75531

产品名称工艺气体喷淋分配板组件产品简介该组件安装于工艺腔体顶部，通过精密微孔结构将工艺气体均匀喷淋至晶圆表面，优化气流分布，提升刻蚀、沉积等工艺的片内与片间均匀...