AMAT 0200-06073

产品名称腔体内部气体导流板组件产品简介安装于工艺腔体内部，用于引导工艺气体均匀分布，优化气流场，减少气体涡流与死角，提升刻蚀、沉积等工艺的均匀性与重复性。技术规...