AMAT 0021-17719

产品名称腔体顶部加热盖板组件产品简介安装于工艺腔体顶部，集成加热与密封功能，均匀加热腔体上部空间，减少温度梯度，同时密封腔体，维持真空环境，提升工艺均匀性。技术...